高速脊波导激光器寄生电容的分析

• 作者: 孟桂超 安振峰 张世祖 陈国鹰 韩威
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 金属化 腐蚀 寄生电容 调制带宽
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 98-101
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2512字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2007.01.015

摘要

高速调制半导体激光器光源是光纤通信系统、相控阵雷达等的关键器件.高速激光器的寄生电容是影响其调制带宽的因素之.为了减小寄生电容,针对脊波导结构激光器的电容,采用计算机模拟与实际测试相结合的方法,进行了理论分析和实验验证.结果表明,其寄生电容大小不仅与电极金属化面积有关,还与隔离沟的腐蚀深度有关.当腐蚀至波导层时,寄生电容减小到10pF以下.这一结论对实现激光器的高速调制是非常有意义的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩威	河北工业大学信息学院	3	9	2.0	3.0
2	陈国鹰	河北工业大学信息学院	62	307	9.0	12.0
3	孟桂超	河北工业大学信息学院	2	4	2.0	2.0