高加速度超精密激光外差干涉测量模型

• 作者: 丁雪梅 李海英 王维雅 谢站磊 谭久彬 钟志 陈洪芳
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 外差干涉 超精密测量模型 加速度 高速测量
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.08.016

摘要

为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型.通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位移测量模型.理论分析和仿真实验表明,当测量加速度为9m/s2,匀加速运行的位移为500mm时,由于加速度变化引起的相对论性效应对测量精度的影响为5nm.高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型的建立,可提高激光外差干涉在高加速度超精密测量中的测量精度,为激光外差干涉在高速和超高速测量领域的应用提供了理论依据.