降温速率对ITO靶材相组成的影响

• 作者: 刘家祥 李亚静
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 降温速率 固溶度 相组成
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 794-797
• 页数: 4页
• 分类号: TB321
• 字数: 2625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2007.06.015

摘要

对400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000 ℃温度下煅烧制得的氧化铟锡(ITO)粉体进行X射线衍射分析, 利用Vegard定律分析得到的衍射数据计算出靶材的晶格常数和氧化锡在ITO靶材中的固溶度, 得出ITO靶材中氧化锡的固溶度大小主要与温度有关, 氧化锡相在靶材中的固溶度随着温度的升高而增大的结论.靶材热压烧结降温时, 保持120～150 ℃·h-1的降温速率可以得到纯度为99.995%, 相对密度为99.274%的氧化铟单相ITO靶材.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘家祥	北京化工大学化工资源有效利用国家重点实验室材料科学与工程学院	87	791	15.0	23.0
2	李亚静	北京化工大学化工资源有效利用国家重点实验室材料科学与工程学院	2	6	2.0	2.0