制备条件对ZrO2光学薄膜特性的影响

• 作者: 沈军 王珊
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶 ZrO2 有机粘合剂 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 133-135
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 字数: 2870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2007.01.033

摘要

以锆酸丁酯为前驱体,采用溶胶-凝胶工艺,制备了性能稳定的ZrO2溶胶,通过在其中添加有机粘合剂PVP和旋涂镀膜法分别制得了ZrO2薄膜和ZrO2-PVP复合薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、椭圆偏振光谱仪、红外分光光度计(FTIR)、原子力显微镜(AFM)等方法研究了不同热处理温度下的ZrO2和ZrO2-PVP复合薄膜的特性,并用输出波长1.06μm、脉宽10ns的电光调Q激光系统产生的强激光进行辐照实验,测试其激光损伤阈值,观察其损伤形貌.实验发现,经过粘合剂添加能很好地提高薄膜的激光损伤阈值,300℃是比较适合的热处理温度.热处理300℃的ZrO2-PVP复合薄膜的激光损伤阈值可达到52 J/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
2	王珊	上海工程技术大学基础教学学院	29	55	5.0	5.0