Cu/Sb掺杂SnO2纳米晶薄膜的H2S气敏特性

• 作者: 周东祥 邱原 龚树萍
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 sol-gel法 SnO2纳米晶 薄膜 气敏传感器
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 2550字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.11.002

摘要

以SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O、SbCl3和无水乙醇为原料,采用sol-gel浸渍提拉法(sol-gel dip-coating method,SGDC)制备了纳米晶气敏薄膜.在多个工作温度和气体浓度下测试了薄膜对H2S的气敏特性.结果表明:r(Cu:Sb:Sn)为1:5:100,工作温度为140 ℃时,薄膜对H2S有很好的灵敏度和选择性,敏感浓度下限可达0.7×10-6.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周东祥	华中科技大学电子科学与技术系	161	1320	16.0	25.0
2	龚树萍	华中科技大学电子科学与技术系	88	698	13.0	18.0