在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究

• 作者: 何晓明 周圣明 宋词 张连翰 杨锡林 杭寅 邹军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: PLD 紫外发射 ZnO薄膜 SrTiO3
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.024

摘要

用脉冲激光淀积法(PLD)在(111)面SrTiO3衬底上外延生长ZnO单晶薄膜.样品分别在衬底温度为350℃、500℃、600℃下外延生长.X射线衍射(XRD)的结果表明,所得的ZnO单晶薄膜结晶性能好,只出现(002)和(004)两个衍射峰,(002)峰的半高宽度(FWHM)为0.23°.在荧光光谱中我们只观察到来源于带边激子跃迁的强UV发射,并且随着生长温度的升高,紫外峰的强度逐渐增强.样品的SEM图像表明所得ZnO薄膜表面平整,晶粒均匀.衬底温度为600℃时,所得到的ZnO薄膜结构完整,晶粒尺寸最大,均匀;而且紫外发射最强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋词	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	172	4.0	11.0
2	杭寅	中国科学院上海光学精密机械研究所	44	386	10.0	17.0
3	周圣明	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	298	9.0	16.0
4	何晓明	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	100	7.0	9.0
5	张连翰	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	134	7.0	10.0
6	邹军	中国科学院上海光学精密机械研究所	14	71	5.0	7.0
7	杨锡林	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	1	1.0	1.0