沉积温度对ZnO薄膜结构及发光性能的影响

• 作者: 范希梅 连建设
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 脉冲激光沉积 紫外光发射 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: O462.1|TB43
• 字数: 2765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2007.01.001

摘要

利用Nd-YAG激光器(波长为1064nm,频率为10Hz)做光源,采用纯金属锌靶,以Si(111)为基体在有氧的气氛中通过激光烧蚀锌靶表面来制备氧化锌薄膜,研究基体温度对ZnO薄膜结构及发光性能的影响.通过XRD和AFM原子力显微镜来表征氧化锌薄膜的结构和表面形貌,其光学性质由光致发光谱来表征.结果表明:在450-550 ℃的条件下沉积的ZnO薄膜具有c-轴择优取向,500℃时c-轴取向最明显.具有c-轴取向的ZnO薄膜具有强的紫外光发射和弱的绿光发射,发光中心在518nm处的黄绿光发射主要归因于电子从导带底部到氧位错缺陷OZn能级之间的跃迁.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	连建设	吉林大学材料学院	48	502	12.0	20.0
2	范希梅	西南交通大学材料学院	13	87	7.0	9.0