现代离子注入机的机械扫描技术

• 作者: 吴尚德
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 机械扫描 批注入 单晶片注入 平行离子束
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 专题论坛及综述
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 字数: 4093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6886.2007.03.026

摘要

简单介绍了典型离子注入机的组成,分析了离子注入机中扫描技术的重要性.随着集成电路工艺技术的提高,对离子注入提出更高的要求,传统的批注入已不能满足当前的工艺,从而开发出了适应当前工艺的单晶片注入的机械扫描技术.这种注入技术解决了技术上的难题,也很好地控制了成本风险,同时具有更高精度、更少污染等一系列优点,成为当前高端离子注入机机械扫描技术的首选.本文对国内外技术进行了对比,时国内离子注入机机械扫描技术的发展进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴尚德	湘潭大学机械工程学院	1	4	1.0	1.0