sol-gel法制备BST薄膜及介电调谐性能

• 作者: 余海州 孙小华 李美亚 赵兴中
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 BST薄膜 sol-gel 介电调谐性能
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 40-42,45
• 页数: 4页
• 分类号: TM2
• 字数: 2642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.01.014

摘要

采用sol-gel法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜.探讨了溶胶中醋酸和乙二醇用量对BST晶化温度和物相的影响,配制出了晶化温度低且无杂相的BST溶胶,对比了退火升温速率对BST薄膜形貌的影响.发现在低速率升温条件下生长的薄膜致密、均匀一致,无气孔、裂纹.测试了薄膜的介电调谐性能,在室温1 MHz下,BST薄膜的εr、tanδ和T分别为592,0.025和42%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵兴中	武汉大学物理科学与技术学院	35	134	6.0	10.0
2	李美亚	武汉大学物理科学与技术学院	29	85	5.0	6.0
3	余海州	三峡大学机械与材料工程学院	3	7	2.0	2.0
4	孙小华	三峡大学机械与材料工程学院	26	91	5.0	8.0