柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现

• 作者: 刘旭 蒋庄德 赵玉龙 高建忠
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 柔性机构 微杠杆机构 有限元法 遗传算法
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器理论及工艺
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TH702|TH703
• 字数: 947字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.012

摘要

针对MEMS复杂器件优化困难的问题,提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法.该方法采用遗传算法(GA)与有限元方法(FE)联合的优化策略,用MATLAB软件作为"调度员",将ANSYS与MATLAB自带的遗传算法工具箱进行有机集成,共同完成柔性机构的优化功能.最后以一种柔性微杠杆机构为例,实现了提出的优化方法,给出了优化的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
3	高建忠	西安交通大学精密工程研究所	8	39	3.0	6.0
5	赵玉龙	西安交通大学精密工程研究所	81	540	14.0	19.0
9	刘旭	西安交通大学精密工程研究所	9	17	3.0	3.0