测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法

• 作者: 傅星 张文栋 栗大超 胡小唐 胡春光 黄玉波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 显微干涉法 曲率测量 有限差分法 拟牛顿算法 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1398-1403
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.09.015

摘要

提出了一种基于显微干涉和有限差分法在微悬臂梁上实现曲率精确测量的方法.该方法将使用相移显微干涉法测得的微悬臂梁表面弯曲信息与用有限差分法解析的弯曲量进行对比,再运用拟牛顿算法或最小二乘法得到曲率的最佳匹配值.实验结果表明:使用该方法可获得弯曲量测量值和解析值之间的均方根差值在1.5 nm以内的精确曲率值,并且一定的像素偏移带来的误差对曲率测量的结果影响很小.由于方法保留了光学干涉法高分辨率及高精度等优点,并考虑了非理想边界条件的影响,在MEMS残余应力和应力梯度测量中具有较大实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
3	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
4	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
5	胡春光	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	37	333	10.0	16.0
6	黄玉波	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	6	60	4.0	6.0