晶格匹配氮化镓和氧化锌基外延薄膜衬底材料ScAlMgO4晶体生长研究

• 作者: 吴锋 周国清 唐慧丽 徐军 董永军 赵志伟 邹军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ScAlMgO4晶体 衬底 晶格匹配 晶体生长 提拉法
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 612-616
• 页数: 5页
• 分类号: O782
• 字数: 2603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.03.028

摘要

采用提拉法成功生长了氮化镓和氧化锌基外延薄膜晶格匹配的ScAlMgO4单晶衬底材料,晶体呈透明白色,尺寸为30mm×59mm,表面部分沿解理面有裂纹.粉末X射线衍射(XRD)分析表明经1400℃固相反应烧结的原料基本合成了ScAlMgO4多晶相.初步的偏光显微镜观察、晶体的粉末XRD表征、透过光谱和双晶摇摆测试表明晶体具有较好的光学性质和结晶质量.研究表明晶体本身的层状结构、较大的温度梯度和热应力的不均匀性是生长过程中引起晶体开裂的几个主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
2	董永军	中国科学院上海光学精密机械研究所	21	226	10.0	14.0
3	周国清		48	336	11.0	15.0
4	赵志伟	中国科学院上海光学精密机械研究所	47	312	11.0	15.0
5	邹军	中国科学院上海光学精密机械研究所	14	71	5.0	7.0
9	吴锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	28	302	9.0	17.0
10	唐慧丽	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	15	3.0	3.0