石英谐振器力频特性的ANSYS分析及实验对比

• 作者: 宁永怀 崔媛媛 田文杰 鄂然
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 ANSYS分析 石英谐振器 力频灵敏度系数
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TP202
• 字数: 1638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.05.009

摘要

利用ANSYS有限元理论模型,对AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时,晶片内的应力分布进行了分析计算;通过在不同区域蒸镀电极的方法对石英晶体的力频特性进行了实验检测.结果表明,ANSYS理论计算结果与实验结果近乎一致,最大误差约为4 %.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁永怀	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	11	2.0	3.0
2	田文杰	北京信息工程学院传感器技术研究中心	37	158	6.0	11.0
3	鄂然	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	15	3.0	3.0
4	崔媛媛	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	15	3.0	3.0