氧化锌纳米结构的制备及其生长机理

• 作者: 张秋霞 李玉国 王建波 石礼伟
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 纳米线 热氧化 退火
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 540-543
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 2333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.04.024

摘要

将利用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上沉积的锌膜进行热氧化后,得到一维ZnO纳米棒.采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电镜(TEM)研究了ZnO纳米棒的结构及表面形貌.实验结果表明上述ZnO纳米棒具有六角纤锌矿结构.金属Zn从SiO2基质中析出和O2发生反应在薄膜表面形成低维ZnO纳米棒.讨论了退火温度及退火时间对ZnO纳米棒形成的影响,并对其生长机制作了初步的探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉国		5	16	3.0	3.0
2	王建波		3	9	2.0	3.0
3	张秋霞		3	9	2.0	3.0
4	石礼伟		2	14	2.0	2.0