采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜

• 作者: 季安 张新宇 谢长生 陈胜斌
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 高性能衍射微透镜 衍射积分算法 单步光刻 湿法腐蚀工艺 DVD物镜
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1625-1629
• 页数: 5页
• 分类号: O438
• 字数: 2147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.10.026

摘要

采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组成衍射微透镜的大量基本相位结构,可以根据入射和出射光束的形貌特征及参数指标,通过衍射积分算法灵活设置和排布.远场光学测试显示了所制衍射微透镜的高衍射效能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢长生		16	64	5.0	7.0
2	张新宇	华中科技大学多谱信息处理技术国防科技重点实验室	16	69	4.0	8.0
3	陈胜斌	华中科技大学多谱信息处理技术国防科技重点实验室	3	9	2.0	3.0
4	季安	中国科学院半导体研究所	2	2	1.0	1.0