巨磁阻生物传感器阵列及专用锁相放大器设计

• 作者: 王永进 王豪才 郑飞雁
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 生物芯片 巨磁阻传感器 锁定放大电路
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学传感器
• 页码范围: 321-324
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.3|TN722
• 字数: 2523字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.101

摘要

EW_GI是基于GMR(巨磁阻)传感器,用于检测血样中特种病毒的正在研发的生物芯片系统.叙述了其巨磁阻传感器阵列以及后端锁相放大IC电路的设计及实现.该阵列包含32个GMR传感器单元和2个传感器参考单元,形成多路的半桥式惠斯通电桥,用于感应绑定磁球的附加磁场.每个单R,(100μm×100 μm)由长1 mm、宽7μm的巨磁电阻蜿蜒而成,该电阻采用[Ag(2 nm)/NiFe(6 nm)/Cu(2.2 nm)/CoFe(4 nm)]20结构,采用Ag作为镜面层,其饱和磁场小于等于30 mT,GMR值约6 %,单个传感器电阻约为780 Ω.配套的锁相放大芯片包括了信号通道、参考通道、前置低噪声放大器、带通滤波器、可控增益放大器、相敏检测电路、正交移相电路、差分直流放大电路八个部分,整个设计功耗小于50 mW@Vcc=3V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王豪才	电子科技大学微电子与固体电子学院	53	681	13.0	24.0
2	郑飞雁	电子科技大学微电子与固体电子学院	5	25	3.0	5.0
3	王永进	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	17	2.0	2.0