纳米多层超硬膜力学性能研究进展

• 作者: 于翔 付志强 任毅 吕建国 周家斌 彭志坚 王成彪
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米多层膜 硬度 耐磨性 热稳定性
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 表面改性技术
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.44|TG113.25
• 字数: 3500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2007.05.002

摘要

纳米多层膜显著改善了膜层的硬度、韧性、耐磨性及耐热性,能够满足各种特殊应用需要,成为硬质薄膜研究的热点课题.本文综述了近年来纳米多层膜在硬度、耐磨性及热稳定性方面的研究成果,分析了它们的主要影响因素,并对今后纳米多层膜的发展趋势进行了展望.