枕型PSD动态响应特性研究

• 作者: 尚鸿雁
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 枕型 位置敏感探测器 有限元 动态响应特性 响应误差
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.03.010

摘要

建立了S1880枕型位置敏感探测器(PSD)的有限元仿真模型,并对其动态响应特性进行了仿真,得到了3个扫描速度下的动态响应误差曲线,通过分析得出结论:PSD产生的动态响应误差随着扫描速度的增大而增大,在光敏面中心线上沿x轴方向匀速直线扫描时,PSD的动态响应误差最大值之比近似等于相应的光源扫描速度之比.仿真结果对枕型PSD的实际工程应用具有一定实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尚鸿雁	上海海事大学电气与自动化系	11	54	5.0	7.0