基于阳极氧化铝模板的金属纳米孔阵列膜制备

• 作者: 凌志远 李屹 王金池
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 化学
• 关键词: 金属材料 纳米多孔材料 纳米多孔金属铝膜 阳极氧化铝模板 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-6,10
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 字数: 1500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.02.002

摘要

以0.3 mol/L草酸为电解液,在40 V直流电压、0(5 ℃下采用二步阳极氧化法制备了纳米多孔阳极氧化铝模板.用射频磁控溅射法在阳极氧化铝模板表面制备了金属铝膜.SEM分析结果表明:金属膜复制了阳极氧化铝模板形貌,具有纳米孔有序阵列结构;金属膜的孔径受控于溅射功率和时间,功率30 W下沉积10 min约为68 nm,32 W下10 min约为58 nm,32 W下15 min约为25 nm.