基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计

• 作者: 唐小萍 张正荣 胡松 邓玖根 马平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 底面对准 USB2.0 复杂可编程逻辑器件
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 1082-1086
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.12.011

摘要

介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案.论述了系统硬件和软件的实现,并对其中的关键模块进行了深入分析.与传统底面对准系统相比,该对准系统成本降低约70%,同时,系统的可靠性大幅提高.实验表明,该系统的底面对准精度达到0.25μm,满足系统设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐小萍	中国科学院光电技术研究所	32	193	8.0	12.0
2	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
3	马平	中国科学院光电技术研究所	45	544	12.0	21.0
4	张正荣	中国科学院光电技术研究所	5	46	4.0	5.0