钢基耐磨SiC薄膜制备研究

• 作者: 张晔 邵红红 高建昌
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: SiC薄膜 磁控溅射 摩擦系数 结合力 40Cr钢
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TG174|TB383
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2007.01.021

摘要

用磁控溅射的方法在40Cr钢的表面制得了SiC薄膜.通过X射线衍射、傅里叶红外光谱分析、摩擦磨损以及划痕试验研究了工艺参数、溅射方式对薄膜性能的影响.结果表明:室温下,用磁控溅射法制备的SiC薄膜具有非晶态结构;傅立叶红外光谱证实了薄膜中除了Si-C键的存在外还有大量的Si-Si键;在相同的工艺参数下用射频溅射法制备的薄膜表面更为光滑致密,与基体结合更好;采用射频溅射法,在功率200W,时间为2h,工作气压为0.1Pa条件下制备的SiC薄膜性能最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵红红	江苏大学材料科学与工程学院	85	453	11.0	15.0
2	高建昌	江苏大学材料科学与工程学院	8	39	3.0	5.0
3	张晔	江苏大学材料科学与工程学院	12	45	4.0	6.0