掺铝对ZnO薄膜光学常数的影响

• 作者: 洪伟铭
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 折射率 Al掺杂 溶胶-凝胶 Kramers-Kronig色散关系
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 205-208
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 2344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.02.014

摘要

采用溶胶-凝胶法在(0001)蓝宝石衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用Kramers-Kronig色散关系对ZnO∶Al薄膜在300～600 nm波长区域的光学常数进行计算,研究了掺杂浓度对薄膜光学常数的影响.计算结果显示,在可见光区,薄膜的光学常数受铝掺杂浓度的影响很小,折射率、消光系数、复介电常数实部和虚部的数值基本恒定,分别约为1.6,0.08,0.27和2.5.在紫外区,薄膜光学常数受掺杂浓度的影响明显,随掺杂浓度提高,光学常数数值均减小,并且都在激子吸收峰(370 nm)处出现一极大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪伟铭		18	76	4.0	8.0