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活性炭纤维过滤器祛除室内气态污染物的实验研究
过滤器
室内空气品质
活性炭纤维
吸附
新型水井过滤器
注水井
注入水质
过滤器
油水过滤器清理装置
油水泵
过滤器
清理装置
结构设计
应用
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 CUNO发布最新过滤器 能去除小至10nm的污染物
来源期刊 半导体信息 学科 工学
关键词 CUNO nm 光刻技术 抗反射涂层 清洗工艺 市场部总监 芯片制造商 金属污染 缺陷率 桥连
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13-13
页数 1页 分类号 TN405
字数 语种
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研究主题发展历程
节点文献
CUNO
nm
光刻技术
抗反射涂层
清洗工艺
市场部总监
芯片制造商
金属污染
缺陷率
桥连
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
双月刊
16开
南京市1601信箱43分箱(南京市中山东
1990
chi
出版文献量(篇)
5953
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11
总被引数(次)
664
论文1v1指导