基于MEMS的一种微机械滤波器的分析

• 作者: 唐炜斌 徐利梅 黄大贵
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械滤波器 表面微加工 微机电系统工艺 共振
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 1983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.04.008

摘要

介绍了一种自由梁微机械滤波器的组成及工作原理,采用连续系统的方法来分析该微机械滤波器的谐振器,推导了其弯曲振动模态下的谐振频率公式--Euler-Bernoulli方程.然后根据MEMS材料的特性和微系统表面微加工原理设计了一种共振频率为70MHz的微机械滤波器工艺,并利用MEMS专业软件Coventor进行仿真分析,仿真结果与计算结果一致,验证了该工艺设计的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐利梅	电子科技大学机械电子工程学院	39	267	9.0	15.0
2	黄大贵	电子科技大学机械电子工程学院	84	695	15.0	20.0
3	唐炜斌	电子科技大学机械电子工程学院	1	1	1.0	1.0