压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究

• 作者: 刘理天 张兆华 林惠旺 许东华 谭智敏
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式 压力传感器 零点输出 零点温漂
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 188-191
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2382字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.060

摘要

零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标.结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析.同时分析了它们对零点温漂的影响.最后,给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	张兆华	清华大学微电子学研究所	21	150	8.0	11.0
3	谭智敏	清华大学微电子学研究所	18	114	7.0	9.0
4	林惠旺	清华大学微电子学研究所	18	150	8.0	11.0
5	许东华	清华大学微电子学研究所	2	18	2.0	2.0