MEMS传感器的标准化现状与发展对策

• 作者: 张维波 范树新 陈勤
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 传感器 标准 半导体
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 3617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.08.002

摘要

随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化.论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张维波	中国电子科技集团公司第四十九研究所	7	40	3.0	6.0
2	范树新	中国电子科技集团公司第四十九研究所	7	23	2.0	4.0