激光干涉信号的位置及偏差提取

• 作者: 代作晓 华建文 孙方 窦秀明 龚惠兴
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 傅里叶变换光谱仪 同步 偏差 精度
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 576-578
• 页数: 3页
• 分类号: TP211
• 字数: 2108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.04.033

摘要

为提高傅里叶变换光谱仪的性能,提出了一种精密的激光干涉信号位置及位置偏差提取方法.正交激光干涉信号经过放大,滤波,整形,成为正交数字信号,判向后在可逆计数器实时计数,DSP每隔固定时间读取一次计数器的值,获得位置信号.利用同步脉冲获得实际位置值,并将原误差减小后转移到参考位置值,使位置偏差的精度大大提高,相应提高了控制精度,同时使得实际位置的测量误差达到纳米级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚惠兴	中国科学院上海技术物理研究所	24	220	8.0	14.0
2	窦秀明	中国科学院上海技术物理研究所	13	37	4.0	5.0
3	代作晓	中国科学院上海技术物理研究所	29	191	8.0	12.0
4	华建文	中国科学院上海技术物理研究所	33	173	8.0	11.0
5	孙方	中国科学院上海技术物理研究所	8	32	4.0	5.0