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激光镜将能改善光学器件的性能
激光镜将能改善光学器件的性能
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摘要：
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高精度微光学器件激光直写光刻系统研究
激光直写系统
光刻
交流伺服电机
ISA
新型NBL改善LDMOS器件的ESD性能
互补型金属氧化物晶体管
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漏率
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紫外激光荧光显微成像技术在光学薄膜损伤测试中的应用
KrF激光
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期刊影响力
今日电子
主办单位：
电子工业出版社
美国国际数据集团
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-9606
CN：
11-3227/TM
开本：
大16开
出版地：
北京海淀区中关村南大街乙12号天作国际中心1号楼A座1506-1508
邮发代号：
82-518
创刊时间：
1993
语种：
chi
出版文献量（篇）
4775
总下载数（次）
3
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