非晶态SrTiO3薄膜的快速晶化处理

• 作者: 付永 刘翠华 刘贤珍
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶化 快速晶化处理 结构特征 SrTiO3薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 2190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2007.02.006

摘要

在Si(111)基片上采用脉冲激光沉积(PLD)方法,烘烤温度300℃,制备得到非晶态SrTiO3薄膜.采用快速晶化处理,将非晶态SrTiO3薄膜在不同温度、不同晶化处理时间下进行了晶化处理,采用GIXRD和AFM分析检验晶化的效果和表面形貌.结果表明,SrTiO3晶化程度强烈依赖处理温度,处理温度越高,晶化程度越高;在同一温度下,增加处理时间有助于提高晶化效果,并获得致密、表面平整、均匀的SrTiO3晶态薄膜;晶粒大小不随晶化处理时间明显变化.在快速晶化处理过程中,非晶态SrTiO3薄膜在极短时间内达到晶化温度,并形成大量晶核,从而使晶粒生长受到限制,有利于获得更好的晶化效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘翠华	西华大学材料科学与工程学院	8	21	2.0	4.0
2	付永	西华大学材料科学与工程学院	4	1	1.0	1.0
3	刘贤珍	西华大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0