X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜

• 作者: 吴正龙 李庚伟
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: X光电子能谱 俄歇电子能谱 氧化锌 氧离子束辅助PLD共淀积
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 373-376,372
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.02.029

摘要

在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度.通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提高淀积ZnO薄膜质量.XPS深度剖析结果还表明采用O离子辅助PLD共淀积后膜层中Zn的氧化组分和孔隙率随深度变化平缓.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正龙	北京师范大学分析测试中心	41	276	7.0	15.0
2	李庚伟	中国地质大学材料科学与工程学院	13	23	3.0	4.0