氮化硅张力涂层对取向硅钢性能的影响

• 作者: 何业东 刘新彬 孔祥华 张鲲 杨浩 王向欣 胡守天
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 氮化硅 取向硅钢 铁损
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 128-130
• 页数: 3页
• 分类号: TG142.77
• 字数: 2160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2007.06.029

摘要

采用反应磁控溅射技术在取向硅钢片表面制备了氮化硅(Si3N4)张力涂层.通过实验研究反应磁控溅射时间、高温退火温度和实验气氛对硅钢铁损以及涂层附着性的影响.研究表明,反应磁控溅射技术在硅钢表面溅射氮化硅张力涂层可有效的降低硅钢的铁损,且各种工艺条件对硅钢的铁损和涂层的附着性影响很大.在氮气和氩气气氛中,经过5min反应磁控溅射氮化硅,然后在氢气和氮气的气氛中,820℃下进行高温退火时,取向硅钢的铁损可降低18%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔祥华	北京科技大学材料学院	30	586	11.0	24.0
2	何业东	北京科技大学材料学院	40	202	9.0	10.0
3	王向欣	武汉钢铁公司技术中心硅钢研究所	4	20	3.0	4.0
4	胡守天	武汉钢铁公司技术中心硅钢研究所	3	12	2.0	3.0
5	刘新彬	北京科技大学材料学院	1	8	1.0	1.0
6	张鲲	北京科技大学材料学院	1	8	1.0	1.0
7	杨浩	武汉钢铁公司技术中心硅钢研究所	1	8	1.0	1.0