AZO透明导电薄膜的结构与光电性能

• 作者: 刘财坤 李金丽 邓宏
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 无机非金属材料 AZO薄膜 组织结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 2237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.01.015

摘要

采用射频溅射工艺制备了Zn1-xAlxO透明导电薄膜.通过XRD、UV透射和电学性能测试等分析手段,研究了Al浓度对薄膜的组织结构和光电性能的影响规律.结果表明:薄膜具有c轴择优取向,随着Al浓度的增加,(002)衍射峰向高角度移动,峰强度逐渐减弱,x(Al)为15%掺杂极限浓度.x(Al)为2%时,薄膜电阻率是3.4×10-4Ω·cm.随着掺杂量x(Al)从0增加到20%,薄膜的禁带宽度从3.34 eV增加到4.0 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
2	刘财坤	电子科技大学微电子与固体电子学院	3	47	3.0	3.0
3	李金丽	电子科技大学微电子与固体电子学院	3	47	3.0	3.0