基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现

• 作者: 周小红 邵洁 陆亚聪 陈林森 魏国军
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光直写 数字微反射镜 光变图像
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 光全息与信息处理
• 页码范围: 46-47
• 页数: 2页
• 分类号: O436.1
• 字数: 4112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2007.06.021

摘要

提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形.此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	邵洁	苏州大学信息光学工程研究所	10	149	8.0	10.0
3	魏国军	苏州大学信息光学工程研究所	19	170	8.0	12.0
4	周小红	苏州大学信息光学工程研究所	11	94	5.0	9.0
5	陆亚聪	苏州大学信息光学工程研究所	1	10	1.0	1.0