基于电流变阻尼超精密气浮工作台建模及控制研究

• 作者: 朱煜 段广洪 陈亚英
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 直线气浮系统 电流变阻尼 Eyring模型 开关控制 滑模控制
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 24-27,36
• 页数: 5页
• 分类号: TB381
• 字数: 3346字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2007.08.007

摘要

随超精密装备加工精度和生产率的不断提高,直线气浮系统得到广泛重视和研究.为解决直线气浮系统抗干扰能力较差等问题,针对已开发的超精密直线气浮工作台,设计了电流变剪切模式阻尼器;建立了气浮工作台整体模型并基于屈服前后平滑过渡的Eyring连续本构模型通过辨识得出电流变剪切阻尼器类稳态模型;分别对零电场线性及高电场非线性电流变阻尼2种情况下的气浮工作台应用误差积分LQR控制器;为达到综合最优,进一步提出开关及滑模控制器,实验证实这2种控制策略均能同时提高系统的响应速度、减少建立时间,降低跟踪误差及纹波.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
2	段广洪	清华大学精密仪器与机械学系	122	2923	30.0	49.0
3	陈亚英	清华大学精密仪器与机械学系	4	23	3.0	4.0