机载压阻式压力传感器设计与加工

• 作者: 张栋 李永红
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器与变送器
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2007.06.024

摘要

介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术,设计出了敏感电路和硅膜结构,根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李永红		77	364	9.0	14.0
2	张栋		8	24	3.0	4.0