掺Er HfO2薄膜材料的光致发光性质

• 作者: 夏艳 张荣 施毅 濮林 王军转 石卓琼 郑有炓 陆昉 陶镇生
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化铪 铒 光致发光
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1388-1391
• 页数: 4页
• 分类号: O482.3
• 字数: 2974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.09.011

摘要

用脉冲激光淀积(PLD)技术和离子注入的方法制备了掺Er氧化铪(HfO2)薄膜样品,观察到了样品中Er离子波长1535nm的室温和变温光致发光(PL)现象.分析了后期不同的退火温度对样品发光强度的影响,发现当退火温度选取800℃时可最大程度减少材料中的晶格损伤和缺陷等非辐射衰减中心,同时光激活Er离子,从而实现最大强度的光致发光.通过对样品光致发光激发(PLE)的测量分析发现,在Er离子的发光过程中除了直接吸收的过程之外还存在着间接激发的过程.HfO2将会成为Er掺杂的一种很好的基质材料.