极紫外/软X射线多层膜衍射光栅

• 作者: 张立超 金春水
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外 多层膜 衍射光栅
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 27-32,102
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 字数: 5331字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.05.007

摘要

多层膜光栅是集多层膜的高反射率与光栅的高光谱分辨于一身的新型光学元件,它的出现使得在极紫外/软X射线(EUV/SXR)波段采用非掠入射、高光谱分辨率的分光元件成为可能.对多层膜光栅的衍射特性进行了分析,这些衍射特性使多层膜光栅能够作为核心部件,实现很多新颖的EUV/SXR光谱仪器,如窄带X-UV单色仪与多色仪.近年来,多层膜光栅的制备领域不断地出现新的思想与方法,同时多层膜光栅的实际应用也不断增多.多层膜光栅作为一种重要的光学元件,在天文学、物理学和材料科学等领域具有广泛的用途.介绍了多层膜光栅在众多研究领域中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	31	306	10.0	16.0
5	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0