微电机制造工艺现状及发展动向

• 作者: 龚园丁
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机 制造工艺 特点 现状 趋势 综述
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: TM305|TM38
• 字数: 7629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2007.08.020

摘要

微电机行业是技术密集型、资金密集型和劳动密集型行业.微电机制造工序多,工艺装备数量大,加工精度要求高,一些微特电机还有特殊的使用环境要求.分析了当前我国微电机行业制造工艺技术的特点和状况,阐述了今后微电机制造工艺技术的发展趋势和方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚园丁		4	21	2.0	4.0