软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析

• 作者: 巴音贺希格 朱洪春
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线 掠入射光栅 闪耀特性 校正傅里叶展开 微分法
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1|O438.2
• 字数: 5093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.01.001

摘要

在有限电导率光栅的微分理论中引入校正傅里叶展开方法,改善了计算收敛性.运用改进后的微分理论对软X射线波段掠入射金属光栅的闪耀特性做了数值分析,通过详细考察三角槽形、正弦槽形和矩形镀金光栅的软X射线-1级衍射效率对光栅结构参数和入射光状态参数的响应程度,给出了一种在使用和制作工艺上都能够接受的光栅技术指标.结果表明,作为闪耀波长为10.33 nm的软X射线波段掠入射镀金光栅,采用81°入射的刻线密度为1 200 l/mm,倾斜角为2°,顶角大于120°的三角槽形光栅较为合适,其效率可达到50%以上.同时,得到了一些优化软X射线波段掠入射金属光栅设计的新结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	朱洪春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	30	3.0	3.0