基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究

• 作者: 任秋实 侯安州 倪鹤南 吴义伯 徐爱兰 惠春
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 微/纳工艺、材料与器件
• 页码范围: 1018-1020,1036
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 1967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.12.002

摘要

基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号.以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列.采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等.该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠春	上海交通大学生命科学技术学院	25	181	9.0	13.0