微/纳米多层金刚石自支撑膜的制备及生长特性的研究

• 作者: J.Askari 佟玉梅 兰昊 唐伟忠 宋建华 戴风伟 李彬 李成明 陈广超 黑立富
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流电弧等离子喷射化学气相沉积 自支撑金刚石膜 多层结构 内应力 生长速率
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 166-169
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.037

摘要

在30kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在钼衬底上分别制备了普通微米自支撑膜及多层金刚石自支撑膜并对其进行研究.结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面;多层膜中各层膜体的内应力沿生长方向有明显变化,出现一个从压应力到拉应力变化的过程;在沉积过程中,随着层数变化,膜体的生长速率也发生相应的变化.