小型共面接口压差传感器

• 作者: 刘宏伟 孙克 李长春 杨勇 金琦
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 SOI 压差 信号处理
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 301-303
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1573字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.095

摘要

小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差.该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55～300℃,通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成电信号,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宏伟		6	15	3.0	3.0
2	金琦		6	5	1.0	2.0
3	孙克		8	39	3.0	6.0
4	李长春		2	1	1.0	1.0
5	杨勇		2	1	1.0	1.0