基于干涉条纹的激光准直仪的研究

• 作者: 付鲁华 周欣 林玉池 齐永岳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 激光准直 干涉条纹 直线度
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TN29
• 字数: 2478字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.09.021

摘要

在所研究的直线度激光测量系统中,以激光干涉光作为准直测量的基准,CCD作为光电转换元件,进行导轨直线度误差的测量与计算.通过系统的重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验表明:测量系统的测量距离可达10 m以上,可检测x轴方向上30 mm以内的位移变化量,分辩力可达0.001 mm.其性能指标基本达到了预定目标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林玉池	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	135	1717	21.0	34.0
2	付鲁华	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	45	491	13.0	21.0
3	齐永岳	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	25	239	8.0	14.0
4	周欣	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	16	143	7.0	11.0