一氧化碳合成金刚石薄膜的形貌和结构分析

• 作者: E. Bauer-Grosse 刘燕燕 张庆瑜
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 金刚石薄膜 Raman光谱 透射电子显微镜 结构
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 6572-6579
• 页数: 8页
• 分类号: O6
• 字数: 4312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.11.069

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,采用偏压增加成核(BEN)、两步生长的方法在一氧化碳(CO)和氢气(H2)的环境下制备了金刚石薄膜. 利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱仪和透射电子显微镜(TEM)对金刚石薄膜的形貌和结构进行了分析. 研究发现金刚石晶粒在第一步成核及生长的过程中产生了层错和孪晶,而在第二步的生长过程中产生的层错和孪晶很少,最终形成的金刚石晶粒外表面比较光滑,包含有近五次对称或者平行的片状的孪晶,并可以观察到少量的位错. 而在样品的边缘由于等离子体的不均匀产生了比样品中心成核密度低的区域. 在这个区域中,发现了一个新的非金刚石的碳结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0