全反射镜结构对AlGaInP发光二极管发光效率的影响

• 作者: 孙昊 宋小伟 宋欣原 李建军 沈光地 邓军 邹德恕 韩军
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 全方位反射镜 模拟计算 发光二极管
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1952-1956
• 页数: 5页
• 分类号: TN312.8
• 字数: 1954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.12.019

摘要

采用计算机模拟的方法,计算了SiO2/Al,ITO/Al,SiO2/Au和ITO/Au全方位反射镜结构和分布式布拉格反射镜的反射特性.用PECVD和溅射设备制作了Glass/SiO2/Au结构,用LP-MOCVD生长了DBR结构,并测量了其反射特性,实验与模拟结果基本吻合.从模拟和实验的结果得到,SiO2/Au ODR结构在波长为630nm的垂直入射光下反射率很高,达到91%以上.对于不同角度的入射光,SiO2/Au在20°～85°都有很高的反射率,远高于DBR结构的反射率.在实际器件测试中,ODR结构的AlGaInP红光LED比无DBR结构的LED提高了115%,比DBR结构的LED提高了28%.这说明,ODR结构与DBR结构相比可以大幅提高红光LED的出光效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈光地	北京工业大学光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
2	邓军	北京工业大学光电子技术实验室	57	219	7.0	10.0
3	韩军	北京工业大学光电子技术实验室	39	181	7.0	11.0
4	李建军	北京工业大学光电子技术实验室	52	234	7.0	12.0
5	邹德恕	北京工业大学光电子技术实验室	58	270	10.0	12.0
6	宋欣原	北京工业大学光电子技术实验室	4	15	2.0	3.0
7	宋小伟	北京工业大学光电子技术实验室	4	17	3.0	4.0
8	孙昊	北京工业大学光电子技术实验室	3	14	3.0	3.0