镀有SiO2-WO3纳米复合薄膜LPFG气体传感特性研究

• 作者: 于清旭 彭勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶工艺 SiO2 WO3 LPFG 气敏特性
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1467-1470
• 页数: 4页
• 分类号: TN253|TP212.2
• 字数: 2929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.07.004

摘要

以钨粉和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺和浸渍提拉镀膜方法,在玻璃衬底上制备出了具有气敏传感特性的SiO2-WO3纳米复合薄膜.采用原子力显微镜和X射线衍射仪表征了薄膜样品的表面形貌和物相结构.实验结果表明:掺杂SiO2使WO3薄膜中的颗粒尺寸减小,空隙率提高,比表面积增大.将SiO2-WO3复合薄膜镀于长周期光纤光栅上(LPFG),在室温条件下,将LPFG置于体积分数为2%的NO气体中,LPFG谐振峰红移了4.77 nm,损耗由-9.93 dB变为-8.53 dB,相应的气体传感灵敏度达到3%,元件响应时间10 s,恢复时间20 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于清旭	大连理工大学光电工程学院	59	689	16.0	23.0
2	彭勇	大连理工大学光电工程学院	83	639	15.0	20.0