多孔硅薄膜微结构的分形特性

• 作者: 周甫方 黄远明
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 多孔硅 微结构 分形 分形维数
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 182-185,194
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 字数: 2172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.04.005

摘要

用扫描电镜(SEM)对厚度不同的多孔硅膜的微结构进行了研究.对于23 μm厚的多孔硅膜,其横截面微结构好似海底生长的海藻;而对于6μm厚的多孔硅膜,其表面微结构则像龟壳上的裂纹.通过对在不同放大倍数情况下拍摄的多孔硅的SEM图片进行分析,结果表明多孔硅薄膜的这两种微结构都具有分形特征,而且其分形维数为2.3～2.6.利用扩散限制凝聚模型(diffusion limited aggregation)对这两种微结构的形成过程进行了模拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周甫方	汕头大学应用物理系	17	98	5.0	9.0
2	黄远明	汕头大学应用物理系	9	38	4.0	6.0