一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计

• 作者: 吴剑 张骅 沈广平 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 剥离工艺 风速 风向 流量传感器
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1830-1835
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 2733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.11.031

摘要

给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻,利用简单可靠的加工工艺实现了热隔离和高灵敏度.经过风洞风速风向测试,得知传感器的风速量程超过10m/s,360°范围内风向测量误差不超过8°.传感器的响应时间不超过1s,功耗为10mW.