微电子技术发展和展望

• 作者: 张兆春 晏伯武
• 来源期刊: 舰船电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子 砷化稼 集成电路 纳米技术
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 发展与研究
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TN40
• 字数: 4101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1627-9730.2007.05.003

摘要

综述微电子技术的历史发展和重要地位,重点介绍其新材料和制备工艺的进展,新材料方面主要介绍几种重要的化合物半导体,并对其发展问题和前景进行展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	晏伯武	黄石理工学院计算机学院	43	212	8.0	13.0
5	张兆春	黄石理工学院计算机学院	6	29	2.0	5.0