GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移

• 作者: 孙晓娟 张籍权 张红治 梁秀萍 潘石 田怡春 胡礼中
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法刻蚀 液相外延 微探尖 扫描近场光学显微术
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.020

摘要

报道了一种用于制作扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖的剥离和转移方法-GaAs衬底选择湿法刻蚀技术.利用扫描电子显微镜对转移后的微探尖进行了表征.结果表明,通过此方法能够成功地将GaAs微探尖转移到目标晶片上,并且在剥离和转移过程中微探尖没有受到损伤.这种技术对实现由带有PIN光探测器的垂直腔面发射激光器与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着非常重要的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘石	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	45	254	9.0	13.0
2	梁秀萍	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	20	75	5.0	7.0
3	张红治	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	13	3.0	3.0
4	孙晓娟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	13	3.0	3.0
5	田怡春	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	3	11	2.0	3.0
6	胡礼中		2	8	2.0	2.0
7	张籍权		1	6	1.0	1.0